５.成膜用材料

　金属蒸着材料,化合物蒸着材料,スパッタリングターゲット,抵抗蒸着用ボート,フイラメント,ハースライナーなどを供給しております。膜厚測定用水晶振動子（モニター）も扱っています。

蒸着材用ボート,フイラメント,ハースライナー

　抵抗加熱蒸着用ボートやフイラメントは多くの場合レアメタル(W,Mo,Ta)で製作いたします（「高融点金属」のページ参照）が、ボートの場合はBNコンポジットECで製作した例(右写真)も多く有ります。
　蒸発物質や電源などの条件により材質や形状が異なりますのでご注意下さい。
　同じように、ハースライナーも使用する目的と蒸発物質により材質や形状を検討する必要があります（ハースライナーについて参照）。材質としてはレアメタルや黒鉛、BNｺﾝﾎﾟｼﾞｯﾄ、各種セラミックスなどの使用例が有ります。不十分ながら、ボート・フイラメントやハースライナーの材料選定のための参考資料が有りますのでヒントになれば幸いです。

通電加熱中のBNｺﾝﾎﾟｼﾞｯﾄECﾎﾞｰﾄ

注意！ ＥＢ(電子ビーム)蒸着装置で最近使われているハースライナーは、蒸着装置メーカーでは多くの場合、サポートしておりません。蒸着条件に未知の要素が入り込むためです。不純分の汚染防止の目的が、反ってハースライナーの材料による汚染になりかねません。材料選定は慎重にお願い申し上げます。

　抵抗蒸着やＥＢ蒸着用に各種の純金属、化合物（酸化物、弗化物など）を供給しております。このページ上でご紹介しきれないため、ご希望の純度・形状・数量等をお問い合わせください。
　スパッタリングターゲットについても純金属、合金、各種化合物のターゲットを供給しております。
　バッキングプレートへのボンディングだけでもお引き受けいたします。

黒鉛とＭｏのハースライナー

ＥＢガン用フィラメント

蒸着材料,　スパッタリングターゲット

　右写真のように、ＥＢ-Gun用フィラメントも各種用意しております。

蒸着材料（ＥＢ用）

スパッタリングターゲット(ﾎﾞﾝﾃﾞｨﾝｸﾞ処理済品)

この Web サイトに関するご質問などについては、直接 [会社のE-Mail] までご連絡ください。
　

膜厚モニター用水晶振動子　-　追加商品

詳細はここをクリックして
ください。