● 販売単位は1ケース(5枚入り)単位です。
● 納期・単価は数量により異なりますのでお問い合わせください。
● 上記表仕様の標準品は短納期にて納入出来ます。
● 外形寸法、周波数、電極形状等を変更することも可能です。
● 弊社販売品については再生もお受けいたします。

5.成膜用材料 追加製品

 膜厚モニター用水晶振動子

製品の概要

 真空成膜プロセスにおいて、膜厚モニターとして広く使われている水晶発振式(QCM方式)膜厚計用水晶振動子です。生産用の蒸着装置には欠かせない素子です。
 標準品の周波数は5MHzと6MHz、電極膜材料は金(Au)と銀(Ag)を揃えております。温度変化に対しても安定しており、+25℃〜+120℃まで±100ppm以内を保証いたします。

この Web サイトに関するご質問などについては、直接 [会社のE-Mail] までご連絡ください。
 

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使用実績

 下表仕様の標準品は、広く市販されている膜厚計にそのまま使えるセカンドソースとして、すでに各方面にてご使用いただいております。

標準品の仕様

品名 CM−5 CM-6
周波数 5.000MHz 6.000MHz
切断方位 ATカット ATカット
周波数範囲 4990〜5000KHz 5980〜5990KHz
外径 φ12.30〜12.40o φ13.80〜14.00o
マスク径 両面 φ11.70±0.03o 片面φ13.20±0.03,φ7.0±0.03o
両面 φ13.20±0.03o
電極材料 金(Au) or 銀(Ag)   

拡大写真(Au電極品)