蒸着材料データと蒸発源材料に関する参考例　

元素 温度（℃） 蒸発源材料使用例 　　備　　　　　考
　（RM：レアメタル(W,Mo,Ta)の略、G：黒鉛）
記号 名称 融点 P=1Pa ﾎﾞｰﾄ･ﾌｨﾗﾒﾝﾄ ﾙﾂﾎﾞ･ﾊｰｽﾗｲﾅｰ
Ａg 銀 961 1030 Ta,Mo,(W:) Mo,G,ｱﾙﾐﾅ Wにはぬれないので不向き。
Ａl ｱﾙﾐﾆｭｳﾑ 659 1220 W,BNｺﾝﾎﾟｼﾞｯﾄ PBN,BNｺﾝﾎﾟｼﾞｯﾄ RMと合金を作る。ﾙﾂﾎﾞから這い上がり例多い
Ａs ひ素 820 280 G ｱﾙﾐﾅ,G 有毒であり昇華性。取り扱い注意。
Ａu 金 1063 1400 W,Mo(ｱﾙﾐﾅｺｰﾄ) ｱﾙﾐﾅ,C,BN,Mo W,Moにはぬれる。Taは合金を作るので不向き。
Ｂ ほう素 2300 2300 G G Gの蒸気がかなり混入。急冷すると爆発の可能性。
Ｂa ﾊﾞﾘｳﾑ 710 610 W,Mo,Ta,Ni G,Ta,Mo RMと合金化せずにぬれる。ｾﾗﾐｯｸと反応例有り。
Ｂe ﾍﾞﾘﾘｳﾑ 1283 1230 W,Mo,Ta G,W RMとぬれる。有毒、特に酸化物が有毒。
Ｂi ﾋﾞｽﾏｽ 271 670 W,Mo,Ta,Ni ｱﾙﾐﾅ,G,Mo,Ta 蒸気は有毒。
Ｃ 炭素 --- 〜2600 --- --- ｸﾞﾗﾌｧｲﾄ自体の高温昇華による。
Ｃa ｶﾙｼｳﾑ 850 600 W ｱﾙﾐﾅ He中で溶解・脱ガスして蒸着。
Ｃd ｶﾄﾞﾐｳﾑ 321 265 W,Mo,Ta ｱﾙﾐﾅ,Ta 毒性あり。
Ｃe ｾﾘｳﾑ 775 1700 W ｱﾙﾐﾅ ---
Ｃo ｺﾊﾞﾙﾄ 1495 1520 W ｱﾙﾐﾅ,ﾏｸﾞﾈｼｱ RMやPtなどと合金を作る。
Ｃr ｸﾛﾑ 〜1900 1400 W(Crﾒｯｷ) G Cr棒の高温昇華でも可。EBの場合ｽｲｰﾌﾟ必要。
Ｃs ｾｼｭｳﾑ 28 153 SUS 石英、G ---
Ｃu 銅 1084 1260 Mo,Ta,W Mo,C,ｱﾙﾐﾅ 時間が経つとRMともぬれ始める。
Ｆe 鉄 1536 1480 W ｱﾙﾐﾅ,ZrO2 すべてのRMと合金を作る。
Ｇa ｶﾞﾘｭｳﾑ 30 1130 --- ｱﾙﾐﾅ, 石英 耐火物と反応。ﾍﾞﾘﾘｱが良いが入手難。
Ｇe ｹﾞﾙﾏﾆｳﾑ 940 1400 W,Mo,Ta,G G,ｱﾙﾐﾅ Wへの溶解度は小。RMをぬらす。Gはぬらさない。
Ｉn ｲﾝｼﾞｳﾑ 156 950 W,Mo Mo,G,Ta,ｱﾙﾐﾅ Wにぬれる。EBはTaﾊｰｽﾗｲﾅｰ使用例有り。
Ｉｒ ｲﾘｼﾞｭｰﾑ 2443 2290 --- --- ---
Ｋ ｶﾘｳﾑ 64 208 Mo 石英 ---
Ｌa ﾗﾝﾀﾝ 920 1730 Ta ｱﾙﾐﾅ,Ta ---
Ｌi ﾘﾁｳﾑ 179 540 SUS,Ta SUS,Ta,ｱﾙﾐﾅ 空気と激しく反応し易く注意。
Mg ﾏｸﾞﾈｼｳﾑ 650 440 W,Ta,Mo ｱﾙﾐﾅ,G,Mo ---
Mn ﾏﾝｶﾞﾝ 1244 940 W,Mo,Ta ｱﾙﾐﾅ,G,Mo RMをぬらす。
Mo ﾓﾘﾌﾞﾃﾞﾝ 2610 2524 --- --- EB蒸着例多い。細線の直接通電でも蒸発可。
Ｎa ﾅﾄﾘｳﾑ 98 290 SUS 石英、SUS ---
Ｎb ﾆｵﾌﾞ 2468 2707 W --- Wと容易に合金化。
Ｎd ﾈｵｼﾞｳﾑ 1024 1300 Ta ｱﾙﾐﾅ,Ta 　　　　　　　　　　　　　　　　　---
Ｎi ﾆｯｹﾙ 1450 1530 W ｱﾙﾐﾅ,ﾏｸﾞﾈｼｱ RMと合金を作り易い。耐火物とも反応。
Ｐb 鉛 327 715 W,Ta,Mo W,Fe,ｱﾙﾐﾅ RMをぬらさない。毒性有り、注意。
Ｐd ﾊﾟﾗｼﾞｳﾑ 1550 1460 W(ｱﾙﾐﾅｺｰﾄ) ｱﾙﾐﾅ,ﾍﾞﾘﾘｱ RMと合金を作る。昇華で低速なら可能。
Ｐt 白金 1773 2090 W C,ｼﾞﾙｺﾆｱ Ta,Mo,Nbと合金を作る。Wと一部合金を作る。
Ｒb ﾙﾋﾞｼﾞｳﾑ 39 173 --- 石英 ---
Ｒh ﾛｼﾞｳﾑ 1966 2040 W G,ｼﾞﾙｺﾆｱ RhﾒｯｷしたW線を加熱して可。
Ｓb ｱﾝﾁﾓﾝ 630 530 Mo,Ta(ｱﾙﾐﾅｺｰﾄ) ｱﾙﾐﾅ,BN,Mo 有毒注意。
Ｓe ｾﾚﾝ 217 240 W,Mo SUS,ｱﾙﾐﾅ,G W,Moとぬれ性良。有毒で真空系まで汚染の可能性
Ｓi ｼﾘｺﾝ 1410 1350 --- ｼﾞﾙｺﾆｱ,ﾍﾞﾘﾘｱ,G 酸化物と反応し還元するとSiOが蒸発。Gとも反応。
Ｓn 錫 232 1250 Mo,Ta G,ｱﾙﾐﾅ,Ta Moをぬらし、かつ侵す。
Ｓr ｽﾄﾛﾝﾁｳﾑ 770 540 W,Ta,Mo Mo,Ta,G すべてのRMをぬらすが合金は作らない。
Ｔa ﾀﾝﾀﾙ 2996 3056 --- --- EBまたは細線の直接通電。
Ｔe ﾃﾙﾙ 450 375 W,Ta,Mo Mo,Ta,G,ｱﾙﾐﾅ すべてのRMをぬらすが合金は作らない。有毒注意。
Ｔh ﾄﾘｳﾑ 1900 2400 W,Ta,Mo --- Wをぬらす。有毒。EBが適してる。
Ｔi ﾁﾀﾝ 1727 1740 W,Ta G/TiC Wと反応。Taとは反応しない。
Ｔl ﾀﾘｳﾑ 304 610 W,Ta Mo,ｱﾙﾐﾅ 練れ性悪い。Moはぬらさない。合金化はしない。
Ｕ ｳﾗﾝ 1132 1930 W W ---
Ｖ ﾊﾞﾅｼﾞｳﾑ 1890 1850 W,Mo Mo Moはぬらすが合金は作らない。W,Taとは合金化。
Ｗ ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝ 3410 3229 --- --- ＥＢが良。酸化物になりやすい。
Ｙ ｲｯﾄﾘｳﾑ 1477 1632 Ta,W Ta,ｱﾙﾐﾅ ---
Ｚn 亜鉛 420 345 W,Ta,Mo Mo,ｱﾙﾐﾅ,G RMをぬらすが合金を作らない。蒸発容易。
Ｚr ｼﾞﾙｺﾆｳﾑ 1852 2400 W --- Wをぬらし、わずかに合金を作る。

★　この資料は弊社独自の経験に基づく資料と各種公刊物掲載の資料を参考に作成しておりますが、
結果を保証するものではありません。目安としてご参照してください。
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