1.高温・真空用固体潤滑材=NFメタル

 真空中で低温から高温まで滑らかな潤滑をもたらす固体潤滑材料です。
 物質の表面に付着し難い固体潤滑材の二硫化タングステン(WS2)を金属中に分散させて焼結することに成功しました。我々はこの合金に"No-Friction"メタル=NFメタルと名付けました。
 成型が容易なためこのページの写真でご紹介するようなスベリ軸受、ボールベアリング(NFベアリング)や「ミラクルピロー」などの形で、各種の真空装置に広範囲に使用されています。
 低摩擦係数(0.1以下)・低比磨耗量と液体窒素の温度から800℃まで幅広い温度範囲で潤滑性を失わないスーパーマテリアルです。

応用例1:スベリ軸受

 右の写真のように、回転軸に接する内側 部分にNFメタルの数ミリの層を成型し、外側のバックアップ部をSUS材で製作する形式が標準的です。特に軸受が700〜800℃の高温になる場合は、全体をムクのNFメタルで製作して耐熱性を高めることも可能です。高温の燒結炉やイオンプレーティング装置の軸受に応用されています。

スベリ軸受

NFメタルを使用したスベリ軸受

 ボールベアリングにもリテーナーとして応用しております。右写真のボールの間に見える台形の材料がNFメタルです。このベアリングを「NFベアリング」という名称で販売しております。
 従来の軟質金属(銀、鉛)をコーティングした真空用の製品に比べて、耐熱温度(〜350℃)、寿命、発塵のすべてに関して超越した高性能を示しています。
 ラジアルベアリングが主ですが、アンギュラやスラストベアリングにも応用されています。また最近では、アルカリや酸の水溶液中における用途が増えております。この用途でも、従来品の数倍以上の長寿命を示しています。

応用例2:転がり軸受(NFベアリング)

ボールベアリング(NFベアリング)

NFメタルを使用した
ボールベアリング

 下の写真のような蒸着装置の回転系において、鋼球の間にミラクルピロー(=NFメタル)を挿入して応用することは、すでに一般的になっています。光学用蒸着装置で回転系の振動や騒音、鋼球・レールの寿命の短さに悩まされている場合は是非お試しください。騒音・振動は大幅に減少し、鋼球・レ−ルはサビる事無く、製品の歩留まりも向上します。
 ミラクルピローの成分が鋼球と回転レールの表面に潤滑膜を形成して滑らかに回転します。また、この潤滑膜は大気に曝されても安定なため鋼球と回転レールを酸化から保護し、寿命を延ばします。

応用例3:蒸着装置の回転治具への応用(ミラクルピロー

ミラクルピローを使用した光学用蒸着装置の回転治具レール部
3種類のミラクルピローの写真

ミラクルピローは3種類あります
向かって右からMLP-030,MLP-040,M LP-05

ミラクルピロー(白く見える)を使用した蒸着装置の回転レール部

「NFメタル」は冨士ダイス(株)の商標です。

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